鎢燈絲掃描電鏡的總發(fā)射電流和光斑大，抗干擾能力和穩(wěn)定性好。可在低真空下不充電對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行成像，并可用于形貌觀察、微觀結(jié)構(gòu)分析，以及斷囗形貌分析。
優(yōu)勢：
1、操作簡單：設(shè)備結(jié)構(gòu)相對簡單，操作界面友好，易于上手。維護(hù)和調(diào)試過程也相對簡單，減少了操作人員的培訓(xùn)成本和時間。
2、適應(yīng)性強(qiáng)：可以在相對較低的真空度下工作(<10Pa)，適用于多種不同類型的樣品。
3、應(yīng)用廣泛廣，成本較低：鎢燈絲掃描電鏡的整體造價相對較低，適合預(yù)算有限的實(shí)驗(yàn)室或研究機(jī)構(gòu)。維護(hù)和保養(yǎng)相對簡單且費(fèi)用較低，降低了長期運(yùn)營成本。
缺點(diǎn)：
1、分辨率有限：雖然鎢燈絲掃描電鏡的分辨率已經(jīng)相對較高，但相比于場發(fā)射掃描電鏡等設(shè)備，其分辨率仍有一定差距。
2、難以滿足對超高分辨圖像的需求，特別是在納米尺度下的精細(xì)結(jié)構(gòu)觀察。
3、發(fā)射效率低：鎢燈絲的總發(fā)射束流雖大，但束流密度小，發(fā)射效率低。這可能導(dǎo)致信噪比較差，影響圖像的清晰度和準(zhǔn)確性。
